Halterungen

Wir entschichten Ihre mehrfach beschichteten Substrathalterungen ohne Verwendung von abrasiven Mitteln, wie z.B. Strahlsand.

Dieses optimierte Entschichtungsverfahren vereint folgende Vorteile:

- Keine Rückstände auf der Oberfläche
- keine Implementierung von Fremdstoffen in die Substratoberfläche
- Kürzere Abpumpzeiten
- weniger Arc's beim Ätz- und Beschichtungsprozess
- weniger "nicht gedrehte" Teile
- Kein „Kaputtstrahlen“ und Verziehen der Halterungen
- Weniger Flitter und weniger Fehlstellen in der Beschichtung
- günstiger als Sandstrahlen


mögliche Beschichtungen:

DLC, WC/C, AlCrN, TiAlN, ZrN